Понятие об ультрафиолетовых лучах впервые встречается у индийского философа 13-го века Shri Madhvacharya в его труде Anuvyakhyanaл. Атмосфера, описанной им местности Bhootakasha, содержала фиолетовые лучи, которые невозможно увидеть обычным глазом.
Вскоре после того, как было обнаружено инфракрасное излучение, немецкий физик Иоганн Вильгельм Риттер начал поиски излучения и в противоположном конце спектра, с длиной волны короче, чем у фиолетового цвета. В 1801г. немецкий физик Иоганн Риттер (1776-1810), исследуя спектр, открыл, что за его фиолетовым краем имеется область, создаваемая невидимыми глазом лучами. Эти лучи воздействуют на некоторые химические соединения. Под действием этих невидимых лучей происходит разложение хлорида серебра, свечение кристаллов сульфида цинка и некоторых других кристаллов.
Вакуумное УФ излучение до 130 нм открыто немецким физиком В. Шуманом (1885-1903), а до 25 нм– английским физиком Т. Лайманом (1924).
Промежуток между вакуумным Ультрафиолетовым излучением и рентгеновским изучен к 1927г.
