Существует много различных методов изготовления диэлектрических волноводов. Вот некоторые из них:
- Плоские волноводы могут быть изготовлены из различных кристаллических и стеклянных материалов с помощью таких методов, как эпитаксия или полировка. Волновод может находиться сверху на устройстве (как показано на левой стороне рисунка 1), но может также быть помещен между различными твердыми слоями.
- Канальные волноводы из полупроводниковых, кристаллических и стеклянных материалов могут быть сделаны с помощью литографии в комбинации с такими процессами, как эпитаксия, ионный обмен, или тепловая диффузия. Можно сделать волновод внутри устройства, выращивая дополнительный слой сверху волновода. Это может привести к понижению потерь распространения и к получению более симметричного профиля моды.
- Оптоволокно изготавливается, как правило, при помощи вытягивания из преформы (заготовки), большого стеклянного прута с изменяющимся по поперечному сечению показателем преломления. Волокна могут быть вытянуты в волноводы очень маленьких размеров, вплоть до нановолокон.
- Волновод может быть сформирован внутри прозрачной среды (например, стекло) с помощью сфокусированных импульсных лазерных лучей с использованием лазерного пробоя или похожей техники.
Выбор подходящего метода изготовления волновода включает в себя такие аспекты, как стоимость, гибкость и воспроизводимость производства, потери при распространении, возможные побочные эффекты в материале (например, через нагревание или диффузию), оптимальный размер моды и симметрию, возможность присоединения к другим волноводам, и т.д.
